Có khá nhiều các Tiêu chuẩn Quốc tế định nghĩa về “Phòng sạch”. Các lĩnh vực liên quan đến khái niệm phòng sạch có ngành Sinh học, Dược phẩm, Vi điện tử và nhiều ngành khác nữa. Có các tiêu chuẩn quốc tế quan trọng về phòng sạch là:
- US Federal Std 209E 1992
- EEC cGMP 1989
- France AFNOR 1989
- German VDI 2083 1990
- British BS 5295 1989
- Japan JIS B 9920 1989
- ISO EN 14611-1 1999
- Australia AS 1386 – 1989
Các tiêu chuẩn này thường có các phần chính như sau:(nhà thầu thi công cơ điện, nhà thầu m&e, nhà thầu mechanical & electrical)
Phần 1: Nguyên lý Kiểm soát không gian sạch (Principles of Clean Space Control)
Đưa ra các nguyên lý kiểm soát của một không gian sạch. Có 6 mức độ không khí sạch được mô tả và các chỉ dẫn về việc lựa chọn kiểu thổi gió,đó là:
Phải kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm, điều chỉnh áp suất không khí, vật liệu và kỹ thuật xây dựng cũng như các quy trình tiến hành. Các không gian sạch có thể đạt được trong phạm vi một phòng hoặc trong phạm vi vị trí làm việc hoặc trong phạm vi buồng nhỏ trong một phòng.
Phần 2: Phòng sạch thổi gió theo từng lớp (Laminar Flow Cleanrooms)
Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió từng lớp, với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 3.5 theo tiêu chuẩn phòng sạch.
Phần 3: Các phòng sạch có thổi gió thông thường (Non-laminar Flow Cleanrooms) Cấp 350 và cao hơn.
Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió thông thường với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 350 theo tiêu chuẩn phòng sạch.
Phần 4: Các phòng sạch có thổi gió thông thường (Non-laminar Flow Cleanrooms) Cấp 3500.
Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió thông thường với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 3500 theo tiêu chuẩn phòng sạch.
Phần 5: Vị trí làm việc của phòng sạch (Clean Workstations)
Mô tả các yêu cầu đối với vị trí làm việc sạch.
Phần 6: Thực hiện và Kiểm tra về phòng sạch (Operation and Inspection of Cleanrooms)
Đưa ra các gợi ý và yêu cầu đối với việc tiến hành và kiểm tra về phòng sạch có thổi gió từng lớp và phòng sạch có thổi gió thông thường. Tài liệu tham khảo cho 3 giai đoạn đánh giá cho 3 giai đoạn khác nhau của phòng sạch (phòng sạch đang được thiết lập, phòng sạch tĩnh và phòng sạch đang trong vận hành).
Phần 7: Lắp đặt, thi công và sử dụng Vị trí làm việc sạch (Installation and Use of Clean Workstations)
Đưa ra các gợi ý về thực hành lắp đặt, vận hành, duy trì và kiểm tra vị trí làm việc sạch (có thổi gió từng lớp) như đã được mô tả trong tiêu chuẩn phòng sạch.